Sensor ya shinikizo ni aina ya sensor ya shinikizo ambayo inaweza kutumika katika chuma, kemikali na uwanja mwingine kupima shinikizo, na inaweza kutambua udhibiti wa shinikizo moja kwa moja wakati unatumiwa pamoja na mdhibiti wa shinikizo.
Sensor ya shinikizo ya silicon /utangulizi kwa kanuni
Sensor ya shinikizo ya silicon ni msingi wa kanuni ya athari ya piezoresistive, kwa kutumia teknolojia ya michakato iliyojumuishwa kupitia doping na utengamano, kando na mwelekeo wa glasi kwenye glasi moja ya glasi ya glasi, kuunda upinzani wa shida ili kuunda daraja la ndani la silika, anisotropic iliyoingiliana na silika iliyoingizwa kwa nguvu ya anisotropic iliyoingiliana na anisotropic micromachachining. Ugunduzi wa nguvu na ubadilishaji wa nguvu-umeme umetengenezwa.
Shinikiza ya sensor ya shinikizo ya silicon iliyotekelezwa hufanya moja kwa moja kwenye diaphragm ya sensor (chuma cha pua au kauri), na kusababisha diaphragm kutoa sehemu ndogo ya kuhamishwa kwa shinikizo la kati, na thamani ya upinzani wa sensor inabadilika. Mzunguko wa elektroniki hugundua mabadiliko haya na kuibadilisha. Ishara ya kipimo cha kawaida inayolingana na shinikizo hili ni pato.
Vipengele vya sensor ya shinikizo ya silicon
1. Inafaa kwa kutengeneza viboreshaji vidogo
Athari ya piezoresistive ya kontena nyeti-nyeti ya chip ya silicon haina eneo lililokufa katika kiwango cha chini karibu na hatua ya sifuri, na safu ya sensor ya shinikizo inaweza kuwa ndogo kama KPA kadhaa.
2. Usikivu wa juu wa pato
Sababu ya usikivu wa upinzani wa mnachuja wa silicon ni mara 50 hadi 100 kuliko ile ya kipimo cha chuma, kwa hivyo usikivu wa sensor inayolingana ni ya juu sana, na matokeo ya jumla ni karibu 100mV. Kwa hivyo, hakuna mahitaji maalum kwa mzunguko wa interface, na ni rahisi kutumia.
3. Usahihi wa hali ya juu
Kwa kuwa ubadilishaji, ubadilishaji nyeti na ugunduzi wa sensor hugunduliwa na sehemu hiyo hiyo, hakuna kiunga cha ubadilishaji wa kati, na makosa ya kurudia na hysteresis ni ndogo. Kwa kuwa silicon ya monocrystalline yenyewe ina ugumu wa hali ya juu na mabadiliko madogo, usawa mzuri unahakikishwa.
4. Kwa kuwa mabadiliko yasiyofaa ya kazi hiyo ni ya chini kama mpangilio wa strain ndogo, uhamishaji wa juu wa chip ya elastic uko katika mpangilio wa micron, kwa hivyo hakuna kuvaa, hakuna uchovu, hakuna kuzeeka, na muda wa maisha ni muda mrefu kama mzunguko wa shinikizo 1 × 107, na utendaji thabiti na kuegemea juu.
5. Kwa sababu ya upinzani bora wa kutu wa kemikali ya silicon, hata sensorer za shinikizo za silicon zisizo na isolated zina uwezo wa kuzoea media anuwai kwa kiwango kikubwa.
6. Kwa kuwa chip inachukua mchakato uliojumuishwa na haina vifaa vya maambukizi, ni ndogo kwa ukubwa na mwanga katika uzani.
Ugumu wa sensor ya sensorer ya silika kwa matumizi
1. Wakati wa safu ya juu au ya chini inachaguliwa, amplitude inapaswa kudhibitiwa ndani ya ± 30%fs.
Njia ya shinikizo imegawanywa katika shinikizo la chachi, shinikizo kabisa na shinikizo la kuziba, ambalo linaweza kuchaguliwa kwa sababu kulingana na mahitaji.
3.Kuhakikisha upakiaji wa juu wa mfumo. Upakiaji wa juu wa mfumo unapaswa kuwa chini ya kikomo cha ulinzi wa sensor, vinginevyo itaathiri maisha ya huduma ya bidhaa na hata kuharibu bidhaa.
4. Usiguse diaphragm na vitu vyovyote ngumu, vinginevyo itasababisha diaphragm kupasuka.
5. Vifaa na mchakato wa utengenezaji msingi wa shinikizo hasi sio sawa na shinikizo chanya, kwa hivyo msingi hasi wa shinikizo hauwezi kubadilishwa na msingi wa shinikizo la chachi.
6. Tafadhali angalia mwongozo wa mafundisho kwa uangalifu kabla ya usanikishaji ili kuzuia uharibifu wa bidhaa inayosababishwa na usanikishaji mbaya.
Matumizi ya 7.Matumizi yanaweza kusababisha hatari na jeraha la kibinafsi.
8. Msingi hutolewa kutoka kwa nyumba, na ni marufuku kuvuta waya na miguu ya bomba.
Matumizi ya sensor ya shinikizo ya silicon
Sensorer za shinikizo za silicon hutumiwa hasa katika mifumo ya kudhibiti mchakato, vyombo vya shinikizo, mifumo ya majimaji, vyombo vya biomedical, mifumo ya majimaji na valves, kipimo cha kiwango cha kioevu, vifaa vya majokofu na viwanda vya kudhibiti HVAC. Inaweza kusemwa kuwa viwanda vyote vilivyo na mahitaji ya juu ya automatisering, vinaweza kutumia sensorer za shinikizo za silicon.
Wakati wa chapisho: Aug-15-2022